M 系列 在线数字式质量流量计产品介绍：

M 系列 在线数字式质量流量计

采用专有的内部补偿型层流压差技术，使得大 流量范围下气体仍旧保持层流运动，充分补偿因压力和温度引起的体积流 量与质量流量间的差异，并对用户标准工况进行修正。所有 Alicat 质量流 量计均具有 NIST 可溯源校准证书。 

M 系列质量流量计内部无可移动组件和热元件，通过抗振动测试，对安装 方向不敏感。

M 系列质量流量计带有集成式多功能数字显示屏， 用户可通多显示屏按钮操作在内置 98 种标准气 体中进行任意切换，同时开放模拟通讯和 RS-232 数字通讯模式。我们为用户提供广泛的定制化服务以满 足各类特殊的项目需要，如：用于危险环境的 ATEX(欧洲) 1 类 2 区和 CSA(美国)1 类 2 区认证产品等。 另有耐腐蚀系列(MS 系列)、低压损系列(MW 系列)和便携式系列(MB 系列)质量流量计可选。

如：科学研究、泄漏测试、环境监测、真空 镀膜、半导体、汽车制造、光伏、燃料电池、光纤制造、计量以及过程工艺气体测量等。多变量测量、 多种气体标定以及 200:1 量程可调比使得仅用一台 Alicat 质量流量计便可取代多台设备发挥的功效。很高 可达 0.4%的精度、0.2%重复性及不到 10 毫秒的测量响应速度很大程度优化了气体测量过程。 

M 系列质量流量计可测量从 0-0.5 SCCM 到 0-4000SLPM 的满量程的任何流量。

技术参数：

标准规格

满量程范围：所有气体为 0.5 SCCM 至 5,000 SLPM（H2 为 10,000 SLPM）

测量范围：满量程的0.01% – 100%

精度：读数的 ±0.6% 或满量程的 ±0.1%，以较大者为准

可选高精度：读数的 ±0.5% 或满量程的 ±0.1%，以较大者为准

重复性：读数的 0.1% 和满量程的 0.02%

响应时间：<10毫秒

工作温度： –10°C 至 +60°C

满量程工作压力： 160 PSIA (11 barA)